扫描电子显微镜的主要组件包括：

• 电子源–这是在1-40kV的电压下通过热产生电子的地方。电子会凝结成束，用于创建模拟图像和分析。可以使用三种类型的电子源。e钨丝，六硼化镧和场发射枪（FEG）
• 透镜–它有几个聚光透镜，将来自源的电子束聚焦通过柱，形成一个狭窄的电子束，形成一个称为光斑尺寸的光斑。
• 扫描线圈–用于将光束偏转到样品表面。
• 探测器–由几个探测器组成，这些探测器能够区分二次电子，反向散射电子和衍射反向散射电子。检测器的功能很大程度上取决于电压速度，样品密度。
• 显示设备（数据输出设备）
• 电源供应
• 真空系统

像透射电子显微镜一样，扫描电子显微镜应没有振动和任何电磁元素。